免费无码在线,日本超碰,无码电影网,狠狠躁夜夜躁人人爽天天不卡软件

English

中文
English
400-6505-735

新聞資訊

CIF專注材料表面處理技術(shù),為客戶提供專業(yè)清洗、去膠、刻蝕、涂層等方面儀器裝備和應(yīng)用工藝解決方案!
首頁  -  技術(shù)文章  -  RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)是種常用的微納加工設(shè)備

RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)是種常用的微納加工設(shè)備

發(fā)表時間:2023-12-22      點(diǎn)擊次數(shù):258

  RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(Reactive Ion Etching)是一種常用的微納加工設(shè)備,主要用于制備微細(xì)結(jié)構(gòu)和納米器件。它通過將反應(yīng)氣體引入真空室,并施加射頻功率和直流電場,利用離子轟擊和化學(xué)反應(yīng)的方式對材料表面進(jìn)行刻蝕。真空室可用于創(chuàng)建和維持高真空環(huán)境。真空室通常由高真空室和低真空室組成,通過真空泵系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體的排除。

  氣體供給系統(tǒng)用于引入反應(yīng)氣體到真空室中。它包括氣體進(jìn)口、質(zhì)量流量控制器和氣體混合系統(tǒng)等組件,以確保準(zhǔn)確控制和穩(wěn)定供給反應(yīng)氣體;射頻功率源提供射頻功率,產(chǎn)生電場用于產(chǎn)生等離子體。通常采用射頻發(fā)生器和匹配網(wǎng)絡(luò),以調(diào)節(jié)和控制射頻功率的輸出;電極系統(tǒng)用于施加直流電場和射頻電場。它通常由上電極和下電極組成,通過施加電場使反應(yīng)離子在真空室中加速和轟擊材料表面;控制系統(tǒng)用于監(jiān)控和調(diào)節(jié)其運(yùn)行參數(shù),如氣體流量、射頻功率、電場強(qiáng)度等。現(xiàn)代化的控制系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)自動化控制和數(shù)據(jù)記錄。

  在選購RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)時,需要考慮以下幾個關(guān)鍵因素:

  1.加工需求:要確定所需的加工能力和加工要求。包括刻蝕深度、刻蝕速率、表面質(zhì)量、刻蝕材料等。根據(jù)加工需求選擇適合的規(guī)格和型號。

  2.設(shè)備性能:選擇具有良好性能和穩(wěn)定性的。關(guān)注設(shè)備的刻蝕均勻性、刻蝕速率控制、刻蝕深度控制等方面的性能指標(biāo)。

  3.氣體供給系統(tǒng):氣體供給系統(tǒng)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性對刻蝕過程和結(jié)果有重要影響。選擇具有可靠的氣體供給系統(tǒng),能夠提供穩(wěn)定的氣體流量和準(zhǔn)確的混合比例。

  4.射頻功率源:射頻功率源的穩(wěn)定性和功率調(diào)節(jié)范圍對刻蝕過程有影響。選擇具有穩(wěn)定輸出和廣泛功率范圍的射頻功率源,以滿足不同材料和加工要求。

  5.控制系統(tǒng):現(xiàn)代化的控制系統(tǒng)可以提高生產(chǎn)效率和加工質(zhì)量。選擇具有控制功能和用戶友好界面的,以便方便操作、監(jiān)控和調(diào)節(jié)。

  6.售后服務(wù):考慮設(shè)備供應(yīng)商的售后服務(wù)和技術(shù)支持能力。及時的維修和技術(shù)支持可以減少生產(chǎn)中的停機(jī)時間,并確保設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行。

  7.安全性能:涉及高真空和高能量等因素,安全性能至關(guān)重要。選擇具有安全保護(hù)裝置和合格認(rèn)證的設(shè)備,以確保操作人員的安全。

3c7ed2b975f9b69.jpg

400-6505-735
  • CIF微信公眾號

  • CIF抖音號

版權(quán)所有 ? 華儀行(北京)科技有限公司 Al Rights Reseved    備案號:京ICP備14024388號-2

技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)    管理登陸    Sitemap.xml

TEL:400-6505-735

亚洲综合AV在线一区| 在线观看网友自拍日韩| 黄片日韩| 三级片网站中国欧美| 色婷婷视频在线| 亚洲第66页| 四虎影院成人| 亚洲无吗国产不卡| 大胆人体啪啪无码免费视频一二三区 | 91蜜臀| 超碰97人人看| 69国产成人精品午夜福中文| 无码不卡超清| 成人无码无字幕| 欧美色十9区十9| 欧美WWW久久久| 激情综合五月开心婷婷| 美女91网站视频| 午夜肉伦伦影院无码| 超碰97cao| 另类天堂人妻视频在线| 超碰在线图片| 国产一区二区熟女高跟| 互换人妻70部| 国产成人福利美女观看视频| 久久久国产精品午夜| 国产熟女露脸嗷嗷叫| 精品乱久久| 欧美 内地 一区| 免费视频 成人| 精品一区二区三区在线| bb视频在线观看| 国产精品久久久久久麻豆一区| 日韩欧美一道本| 亚洲午夜成人精品无码APP| 夫妻一区二区在线| 亚洲国产另类精品| A级妓女| 精品久久久久久久久久久久包黑料| 精品无套挺进少妇| 老黄毛片|